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MEMS传感器的特点包括（ ）。 参见2026版教材P161：MEMS器…
题目 #1209572 · 水利检测员 · 测量 · 第二节 主要传感器类型与工作原理
MEMS传感器的特点包括（ ）。
参见2026版教材P161：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短；MEMS传感器在同一个芯片内集成了敏感元件、放大电路和补偿电路；同时可提供自动的或周期性的自校准和自诊断；MEMS传感器把不同功能、不同敏感方向或驱动方向的多个传感器或执行器集成于一体。
- A. 体积小、重量轻、耗能低
- B. 只能外接放大电路，芯片内不能集成补偿电路
- C. 可提供自动的或周期性的自校准和自诊断
- D. 可把不同功能、不同敏感方向或驱动方向的多个传感器或执行器集成于一体
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